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微电子的空气过滤器

日期:2018/4/14浏览:900次

沾粘在集成电路上的粉尘会造成断路、短路,粉尘直接影响产品的成品率。如今,半导体工业(芯片生产车间)对生产环境的空气清洁程度把控是非常严格的,对空气过滤器的要求也十分严格。芯片生产车间传统的通风形式是“大循环、大流量”,车间的整个顶棚上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。现在芯片生产有些车间使用自带风机的过滤装置,即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度,只是在运行管理和能耗上有所差异,不论是高效过滤器还是FFU,出厂前都要经过逐台扫描测试。 

 

当芯片上的线宽小到0.5μm时,上海奕卿科技公司发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害因素;化学污染物的来源有可能是室外空气、工艺本身、人或装修材料等;上海奕卿过滤科技有限公司生产的精密滤芯过滤器的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,你想要多干净都能达到。

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