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关于HCl电子气体超纯纯化技术研究介绍
2020/7/14
摘要: 报道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化，5N HCl 电子气体中的水分，可由10 － 6 ( 体积分数) 级降至 100 × 10 － 9 ( 体积分数) 以下，且重现性良好，水分最低降至 12 × 10 － 9 ( 体积分数) ; 纯化过程不额外释出痕量的挥发性金属杂质，对 HCl 中的多数金属杂质有吸附滞留作用。关于半导体工业用超纯气体——电子纯液氧、液氮介绍
2020/7/14
文 摘 简述 半 导体 芯 片制 造 中所 用 气体 的 纯度标 准 , 并通过 实例 , 对 制 备 方 法及 流 程 、 输送 系统设计 及特 点 、 气体 站设计 以 及参数的 检侧 等进行 了 阐 述 。关于半导体超净厂房纯气系统及实例介绍
2020/7/14
文 摘 简述 半 导体 芯 片制 造 中所 用 气体 的 纯度标 准 , 并通过 实例 , 对 制 备 方 法及 流 程 、 输送 系统设计 及特 点 、 气体 站设计 以 及参数的 检侧 等进行 了 阐 述 。关于超纯电子混合气体及标准气体的配制技术探究介绍
2020/7/14
摘 要：本文在对超纯电子混合气体配制进行全面阐述的基础上，对标准气体的精度问题进行了深入探讨，以期为我国后期电子混合气体的配制奠定良好基础。关于高效长效节能减排的钡盐高分子精密过滤介绍
2020/7/14
摘 要：以高过滤效率、高过滤精度、能形成较干滤饼，能进行高效洗涤，并能方便卸除干滤饼的刚性高分子精密微孔过滤技术，对含有相当比例的纳米级细粒的不溶性钡盐的超细料浆进行精密过滤与洗涤试验，证明可以完全截留住最细的微粒。本文叙述了硫酸钡、钛酸钡、碳酸钡的精密过滤的试验结果，也简单介绍了水可溶性的两种钡盐的高效精密过滤试验数据。硫酸钡与氯化钡的高分子精密微孔过滤已在工业生产上成功应用二十多年。
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